Участник НОЦ получит 90 млн рублей от РНФ

Участник Нижегородского научно-образовательного центра (НОЦ) — ООО «НПИ» — стал победителем конкурса Российского научного фонда на получение грантов для выполнения ориентированных и прикладных научных исследований по направлению «Микроэлектроника» в области производства полупроводниковых приборов. Поддержку получил проект по разработке методики и созданию опытной установки для получения высокочистых металлоорганических соединений TEMAH и TEMAZ. Эти соединения относятся к числу базовых прекурсоров, применяемых при формировании тонких пленок оксидов гафния и циркония в технологиях...