Участник Нижегородского НОЦ получит 90 млн рублей от РНФ на проект по разработке высокочистых соединений для микроэлектроники

Участник Нижегородского научно-образовательного центра (НОЦ) - ООО «НПИ» - стал победителем конкурса Российского научного фонда на получение грантов для выполнения ориентированных и прикладных научных исследований по направлению «Микроэлектроника» в области производства полупроводниковых приборов. Поддержку получил проект, направленный на разработку методики и создание опытной установки для получения высокочистых металлоорганических соединений TEMAH и TEMAZ. Эти соединения относятся к числу базовых прекурсоров, применяемых при формировании тонких пленок оксидов гафния и циркония в...