Участник Нижегородского НОЦ получит 90 млн рублей от РНФ

ООО «НПИ», входящее в состав Нижегородского научно-образовательного центра (НОЦ), стало победителем конкурса Российского научного фонда на получение грантов для проведения ориентированных и прикладных исследований по направлению «Микроэлектроника» в сфере производства полупроводниковых приборов. Поддержку получил проект по разработке методики и созданию опытной установки для получения высокочистых металлоорганических соединений TEMAH и TEMAZ. Эти соединения используются как базовые прекурсоры при формировании тонких пленок оксидов гафния и циркония в технологиях атомно-слоевого осаждения...