Российские физики создали источник плазмы для использования в передовых литографах

Российские физики проводят эксперименты по созданию очень сложной и к тому же инновационной технологии получения плазмы, используемой современными литографами. Ученые намерены превзойти методику крупнейшего в мире производителя оборудования для выпуска полупроводников — нидерландской ASML. Плазма для литографов Ученые Института ядерной физики СО РАН (ИЯФ СО РАН) и Федерального исследовательского центра Институт прикладной физики РАН ( ИПФ РАН ) разрабатывают технологию создания стабильного источника экстремального вакуумного ультрафиолетового излучения (ВУФ излучения), который необходим в...