Комплектующие изделия и материалы, которые исполнители будут использовать, должны быть отечественного производства и обеспечивать отсутствие критической зависимости от иностранных производителей
Как выяснил CNews, Минпромторг выделил 2,8 млрд руб. на разработку кластерной линии фотолитографии для изготовления интегральных схем на пластинах диаметром 200 мм. Тендер на эти работы был опубликован на портале госзакупок в конце ноября 2025 г.
Согласно техзаданию, к 31 октября 2030 г. в России должен быть создан опытный образец кластерной линии фотолитографии с концепцией объединения всех операций формирования фоторезистивной маски в едином комплексе. Она предназначена для обработки слоев фоторезиста в субмикронной литографии при изготовлении интегральных схем на пластинах диаметром 200 мм с топологическими нормами до 180-130 нм.
Установка должна обрабатывать не менее 60 пластин в час, следует из техзадания. Срок ее службы не должен быть менее 10 лет.
В состав кластерной линии фотолитографии должен будет войти комплекс оборудования: блоки обработки, а также нанесения фоторезиста и антиотражающего покрытия, блоки проявления фоторезиста. Помимо этого, линия будет содержать блок термообработки, модуль загрузки и выгрузки пластин и т.д.
Комплектующие изделия и материалы, которые исполнители будут использовать, должны быть отечественного производства и обеспечивать отсутствие критической зависимости от иностранных производителей, подчеркивает ведомство в техзадании.
Исполнитель также должен будет определить стоимость и сроки освоения серийного производства такой линии с учетом общего состояния рынка потенциальных потребителей.«Проект предполагает разработку не самого литографа, а критически важного кластерного комплекса для всех подготовительных и заключительных операций с фоторезистом, — пояснил CNews Александр Тимошенко, глава ООО «Троичные Технологии». — Такая автоматизированная линия, объединяющая нанесение слоев, термообработку и проявление в единый герметичный контур, предназначена для резкого увеличения скорости обработки пластин, чистоты производства и снижения брака».
Источник: CNews