Значительный шаг в развитии отечественной микроэлектроники: первый российский литограф с разрешением 350 нм направляется на производство компании «Отраслевые решения».
Предприятие входит в группу «Элемент» и специализируется на силовой электронике.
«Зеленоградский нанотехнологический центр» (ЗНТЦ) осуществит поставку первого российского литографа с характеристикой 350 нанометров компании «Отраслевые решения», являющейся частью группы «Элемент».
Миссия «Отраслевых решений» — полная локализация в России производственной цепочки силовой электроники, критически важной для энергетики, машиностроения, приборостроения, авиации и других промышленных секторов.
Новый отечественный литограф создан для проекционного переноса изображения с фотошаблона на полупроводниковую пластину и его тиражирования при производстве сверхбольших интегральных схем (СБИС) с нормой 350 нм. Эта технология востребована при создании элементной базы для силовой и автомобильной электроники, а также промышленных систем.
Оборудование создано в партнерстве с белорусской компанией «Планар» в рамках проектов Минпромторга, реализованных ЗНТЦ после победы в тендерах 2021 года. Разработка была успешно завершена весной 2025 года, а сейчас ведутся работы над следующим поколением литографов с разрешением 130 нм.
Литограф обладает рабочим полем размером 22 х 22 мм и предназначен для обработки пластин диаметром 200 мм. Рабочая длина волны устройства составляет 365 нм, срок его службы гарантированно превышает пять лет, а масса установки — 3500 кг.
Это оборудование — ключевой элемент для достижения технологической независимости России, предназначенный как для модернизации действующих, так и для оснащения новых микроэлектронных производств.
«
«Зеленоградский нанотехнологический центр» обеспечивает полный цикл создания и выпуска микросхем. Компания фокусируется на развитии современных производственных технологий и создании перспективной высокотехнологичной продукции в кооперации с ведущими российскими научными и промышленными организациями.
Группа «Элемент» — ведущий производитель микроэлектроники в России. Компания сформирована в 2019 году на основе активов АФК «Система» и «Ростеха». В ее состав вошли ключевые игроки отрасли: зеленоградский «Микрон», НИИ электронной техники, НИИ «Прогресс», Воронежский завод полупроводниковых приборов («ВЗПП-Микрон») и другие предприятия.
Предприятия группы «Элемент» выпускают интегральные микросхемы, полупроводниковые приборы, силовую электронику, модули, корпуса для микросхем, контактные устройства и радиоэлектронную аппаратуру.